F-Theta-lenzen worden vaak gebruikt in combinatie met galvanometer-scanspiegels in lasergraveer-, snij- en markeersystemen. De F-Theta-vervorming van de lens wordt doorgaans onder de 1% gehouden, zodat een nauwkeurige stip in het vlakke veld op het beeldvlak kan worden geproduceerd.
Diametertolerantie: +0/-0,13 mm
Diktetolerantie: ±0,25 mm
Tolerantie brandpuntsafstand: ±2%
Variatie in randdikte (ETV): ≤3 boogminuten.
Effectieve opening: >90%
Surface Flatness: λ/4 per 1″ Dia@632.8nm
Oppervlaktekwaliteit: 40-20 SD
AR-coating: R<0,2% per oppervlak @10,6μ